2023年8月10日 · 离子溅射仪的基本构成包括离子源、加速器、靶材、基底和真空系统。 离子源是产生离子束的装置,加速器是将离子束加速到高能的装置,靶材是被轰击的物质,基底是沉积薄膜的物质,真空系统是保证离子束在真空环境下传输的装置。
配置为溅射镀膜机或碳丝蒸发镀膜机后,可以在全自动化系统中获得可重复的结果,实现了一台em ace200具有喷金仪,喷碳仪,蒸镀仪三种功能。如果您的分析需要这两种方法,徕卡显微系统在一台仪器中提供可互换机头的组合仪表。
因此,我们设计了双靶离子溅射仪,并开发出叠层工艺:先喷 Pt 后喷 Au,可以通过 Pt 对样品先形成保护,然后通过 Au 提高样品的漏电能力和信号量,起到抑制荷电和提高形貌衬度的双重作用,结合少量多次、旋转偏转等方式,让 SEM 成像更优质。
2020年5月29日 · 喷金仪是什么? 在封闭腔室中,放置阳极靶材,充入气体,保持一定的真空度,在阳极和阴极之间加载高压,会发生辉光放电现象。电离的气体离子会轰击、侵蚀阳极靶材。靶材原子会因此向四周扩散,并在样品上沉积,最终在样品表面形成一个均匀的镀层。
fsem系列喷金仪为全闭环真空设计,配有全量程皮拉尼真空计等多个传感器实时监控运行状态,保证仪器安全稳定运行。 采用高性能旋叶真空泵,快速获得<1Pa的真空环境,高精度的溅射电源采用恒流控制,镀膜更纯,膜厚更准,结果重复性更好。
场发射 SEM 电镜制样常规的应对方案是喷镀 Pt 金属,因为Pt的颗粒尺寸仅为2-3nm,小的颗粒尺寸有利于呈现样品更真实的形貌。ISC150离子溅射仪可标配Pt靶用于场发射扫描电镜喷镀制样,既有利于缓解荷电又不至于掩盖样品真实形貌。
喷镀电流控制不受样品室内气压影响,可得到一致的镀膜速率和最佳的镀膜效果。 可使用多种金属靶材:Pt, Au, Au/Pd, Pt/Pd(Pt 靶为标配),靶材更换快速方便。
Quantum Design-nanoEM是Moorfield Nanotechnology推出的一款高精度的磁控溅射喷金仪。该系统可配备SEM样品托、TEM网、普通样品等多种专用样品台,满足各种高精度的喷金或电极生长需求。
喷金仪应用于生产过程中均匀地把胶体金等颗粒通过溶液均匀地喷在玻纤材料上。 高精度步进泵以及自主研发精密喷笔,保证线条均匀性,是中小型企业必备的生产设备之一。
江苏雷博科学仪器有限公司(www.lebokeyi.com)是全自动离子溅射仪,实验室喷金仪,磁控溅射仪,小型真空等离子清洗机,电镜制样玻璃制刀机,小型真空镀膜机,热蒸发镀膜设备,磁控溅射镀膜设备厂家,本公司是国内匀胶机全系列,多功能,定制化服务的供应商,欢迎来电洽谈